市场上最先进的量产镀膜机

1200-PO专为满足24小时生产需求而设计，加工时间短至20分钟（门到门），真正树立了生产率和成本效益的标杆。通过与Satisloh的生产执行系统 (MES-360) 的连接，其功能得到了进一步增强。这一宝贵的自动报告软件可为管理层及时提供有关机器生产率和其他重要KPI趋势的信息。

效率和灵活性

• 为了满足广泛的精密光学镀膜应用要求，1200-PO系统可根据客户的偏好进行配置，提供大量可用的选配组件。

• 机器的构建旨在满足无缝生产安装所需的特性和功能。

   

机器选配项

• 双轴行星系统可实现最佳的膜层均匀性（物理厚度变化≤1%），以及选配分段式伞片或伞具。

• 各种电子束枪尺寸和坩埚配置，具有防交叉污染设计。

• 高性能泵送套件选项，包括用于高真空的扩散泵或干气泵，以及旋转或干式初级泵。

• 用于金属膜沉积的低功率或高功率热源选项。

• 离子束选项包括用于IAD的End Hall或Hollow Cathode，或用于PIAD或PECVD薄膜的射频等离子束。

• 基板加热选项包括calrod、红外石英灯和独特的Satisloh“护板后”红外灯加热器，可防止镀膜材料污染。